

项目/型号 |
||||
主轴精度 |
±0.025μm |
±0.0125μm |
±0.035μm |
±0.02μm |
系统精度 |
≤0.06μm |
≤0.03μm |
≤0.08μm |
≤0.05μm |
工作台有效直径 |
ф150mm(可扩展) |
ф220mm(可扩展) |
||
承载重量 |
20kg |
40kg |
||
测量高度 |
200mm(可扩展) |
|||
最小内径 |
ф5mm(最小可测ф1mm需配小测针) |
|||
工作台 |
调心调平工作台 |
|||
传感器分辨率 |
0.01μm |
|||
转速 |
5转/分 |
|||
可选配件 |
各种规格宝石测针,精密超薄卡盘 |
|||
项目/型号 |
||||
主轴精度 |
±0.025μm |
±0.025μm |
±0.0125μm |
|
系统精度 |
≤0.06μm |
≤0.06μm |
≤0.03μm |
|
工作台有效直径 |
ф150mm(可扩展) |
|||
承载重量 |
20kg |
|||
测量高度 |
200mm(可扩展) |
|||
最小内径 |
ф5mm(最小可测ф1mm需配小测针) |
|||
工作台 |
普通 |
调心调平工作台 |
||
传感器分辨率 |
0.01μm |
|||
转速 |
5转/分 |
|||
可选配件 |
各种规格宝石测针,精密超薄卡盘 |
|||
项目/型号 |
||||
主轴精度 |
±0.25чm |
±0.0125чm |
±0.025чm |
±0.0125чm |
系统精度 |
≤0.06чm |
≤0.03чm |
≤0.06чm |
≤0.03чm |
数据采集 |
国产霍尔元件 |
德国HEIDENHAIN公司精密圆光栅 |
||
最大直径 |
ф140mm(可扩展) |
ф140mm(可扩展) |
||
最小内径 |
ф5mm(测ф1.2-5mm,需定做传感器) |
|||
量程范围 |
300чm(半径差) |
|||
传感器分辨率 |
0.01чm |
|||
承载重量 |
10kg |
|||
转 速 |
96转/分 |
|||
大承载型 圆度仪
项目/型号 |
|||||||
主轴精度 |
±0.035μm |
±0.02μm |
±0.035μm |
±0.02μm |
±0.035μm |
±0.035μm |
|
系统精度 |
≤0.08μm |
≤0.05μm |
≤0.08μm |
≤0.05μm |
≤0.08μm |
≤0.08μm |
|
工作台有效直径 |
ф260mm(可扩展) |
ф320mm(可扩展) |
ф500mm(可扩展) |
||||
测量高度 |
300mm(可扩展) |
500mm(可扩展) |
|||||
承载重量 |
80kg |
120kg |
240kg |
480kg |
|||
最小内径 |
ф5mm(最小可测ф1mm需配小测针) |
||||||
工作台 |
调心调平工作台 |
自动调心工作台 |
|||||
传感器分辨率 |
0.01μm |
||||||
转速 |
5转/分 |
||||||
可选配件 |
各种规格宝石测针,精密超薄卡盘 |
||||||